1
آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید بهشتی و پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهید بهشتی
2
آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید بهشتی
چکیده
امروزه با پیشرفت‌های حاصل شده در علم سطح و ساختارهای نانومتری، لزوم اطلاع در مورد چگونگی عملکرد میکروسکوپ‌های الکترونی بیش‌تر از گذشته نمود پیدا کرده است. به همین دلیل در این گزارش، گریزی به اجزاء سازنده میکروسکوپ‌های الکترونی زدیم و اصول عملکرد هر کدام از این اجزاء را از مرحله تولید باریکه الکترونی تا تشکیل تصویر با کیفیت به تفضیل توضیح داده‌ایم.
)